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洁净度等级标准

发布日期:2012-10-29  
洁净度等级标准 ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。 根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。 空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)
空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um
ISO Class 1 10 2        
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1 000 237 102 35 8
ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
ISO Class 7   352 000 83 200 2 930
ISO Class 8   3 520 000 832 000 29 300
ISO Class 9   35 200 000 8 320 000 293 000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
  空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)
粒径、数值洁净度级别 尘埃最大允许数/立方米 微生物最大允许数
≥0.5um ≥5um 浮游菌/立方米 沉降菌/皿
100 级 3,500 0 5 1
10,000 级 350,000 2,000 100 3
100,000 级 3,500,000